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            當前位置:首頁產品中心爐式合成設備管式爐單溫區PE-CVD系統

            單溫區PE-CVD系統
            產品簡介

            單溫區PE-CVD系統采用高性能射頻電源,等離子體更穩定;滑軌式結構能使整個反應腔室都處于輝光產生區;可實現快速升溫和降溫功能;與傳統CVD相比較,生長溫度更低。

            產品型號:
            更新時間:2025-03-18
            廠商性質:生產廠家
            訪問量:434
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            品牌科冪儀器升溫速度(達到最高溫)10℃/min
            加熱方式電阻絲最大功率3kW
            控溫精度±1℃最高溫度1150℃
            價格區間面議儀器種類管式爐
            產地類別國產應用領域化工,生物產業,石油,能源,制藥/生物制藥

            單溫區PE-CVD系統

            產品特點:

            單溫區PE-CVD系統采用高性能射頻電源,等離子體更穩定;

            滑軌式結構能使整個反應腔室都處于輝光產生區;

            可實現快速升溫和降溫功能;與傳統CVD相比較,生長溫度更低。


            技術參數

            型號:TFE - 1200 - 50 - 220

            設計溫度:1150℃(短期)

            額定溫度:1100℃

            推薦升溫速率:≤10℃/min

            控制精度:±1℃

            爐管尺寸:Φ30/50/60*1200mm

            爐膛尺寸:Φ80*220mm

            加熱區長度:220mm

            恒溫區長度:80mm

            加熱元件:優質國產電阻絲

            額定功率:3KW

            供氣系統:

            ①三路高精度MFC

            ②量程0-500sccm(可定制)

            射頻電源:

            ①射頻功率:5-500W;

            ②射頻頻率:13.56MHz;

            ③匹配方式:自動匹配

            真空系統:雙級旋片真空泵(可定制擴散泵 分子泵等)

            外形尺寸:1250*510*810mm

            單溫區PE-CVD系統


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